蔡司已為 Samsung 及 SK 海力士大型晶圓廠投資完成技術準備

蔡司韓國新任負責人亞內·澤胡森表示,面對 Samsung 電子及 SK 海力士在韓國及海外推進的大規模晶圓廠投資,蔡司已提前完成供應鏈及技術準備,將加強對先進製程及半導體計量需求的支持。

蔡司作為 ASML 獨家供應高性能光學鏡頭的公司,與 Samsung 電子、SK 海力士等晶片製造商的業務聯繫緊密。澤胡森指出,隨著半導體工藝從數納米向埃米級的發展,製造環節需要缺陷更少的大型光學系統,以及具備更高解像度和穩定性的計量技術。先進封裝同樣對精密測量能力提出更高要求。

蔡司將加強對半導體產業的支持

在高數值孔徑 EUV 領域,蔡司已提前佈局相關光學與計量方案。該技術將鏡頭數值孔徑由 0.33 提升至 0.55,可進一步改善曝光解像度,預計未來兩至三年內進入大規模量產。蔡司六年前已開始開發高數值孔徑 EUV 光掩模計量解決方案,並供應檢測光掩模性能及缺陷的 AIMS 設備。

為增強產能,蔡司今年 7 月宣佈擴建德國奧伯科亨半導體製造技術工廠,計劃增加 2.5 萬平方米的空間,並導入高數值孔徑 EUV 精密光學系統和計量設備。澤胡森強調,高精度特種玻璃等材料需要提前規劃,不能等晶片需求增長後再啟動供應鏈建設。

Samsung 電子計劃圍繞平澤園區、龍仁國家產業園等半導體集羣投資約 2030 萬億韓元。為深化本地合作,蔡司於今年 7 月在龍仁啟用半導體創新中心,目前已導入兩台設備,更多設備計劃年內進駐。對於在韓國建設面向本地客戶的研發基地,蔡司表示尚未作出決定,但將其視為可行選項。

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Henderson 是 TechRitual Hong Kong 科技編輯,專注報導智能手機、消費電子產品、SIM 卡及流動通訊市場。自加入 TechRitual 以來,累計撰寫數千篇科技報導及產品評測,內容同步發佈至 SINA 及 Yahoo Tech 等主要平台。

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