6 月 1 日,SK 海力士位於忠清北道清州市的 4 園區 3 棟 6 層氣體室發生火災。消防部門接到報警後迅速出動,火災在自動噴水滅火系統(sprinkler)啟動後被撲滅,未造成大規模火勢蔓延。但在滅火過程中,氣體室內儲存的毒性物質氟化氫發生部分泄漏,目前已確認有 6 名人員因此受傷。
根據韓國消防部門及 SK 海力士方面的初步通報,事發地點為清州 4 園區的半導體生產輔助設施——氣體室。該區域主要用於存放芯片製造過程中所需的各種特種氣體,其中就包括具有強腐蝕性和劇毒性的氟化氫。氟化氫在半導體工藝中常用於晶圓蝕刻和清洗,但一旦泄漏,會對人體呼吸道、皮膚及眼睛造成嚴重傷害,高濃度暴露甚至可能危及生命。
SK 海力士火災事故造成多名人員受傷
截至發稿時,事故已造成 6 名現場人員受傷。傷者已被立即送往公司內部的醫務室及附近醫院接受治療。消防部門表示,已派出穿著防護服的隊員進入現場,對事故的具體原因和損壞情況進行深入調查。消防官員補充説,受傷人數仍有可能進一步增加。
目前,韓國消防、警方以及 SK 海力士方面正在對事故原因展開聯合調查。這家芯片工廠是全球主要的半導體生產基地之一,在 DRAM 和 NAND 閃存供應鏈中佔據重要地位,此次事故是否會對其後續生產運營造成影響,備受市場關注。
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